2023-07-12 02:05:59
图7:本实用新型蚀刻设备其一较佳实施例的挡液板结构运作局部放大图。图8:本实用新型蚀刻设备其一较佳实施例的挡液板结构结合风刀装置示意图。图9:本实用新型蚀刻设备其一较佳实施例的宣泄孔的表面张力局部放大图。图10:本实用新型蚀刻设备其二较佳实施例的挡液板结构结合风刀装置示意图。图11:本实用新型蚀刻设备其三较佳实施例的挡液板结构结合风刀装置示意图。图12:本实用新型挡液板结构其二较佳实施例的宣泄孔的表面张力局部放大图。图13:本实用新型蚀刻方法的步骤流程图,苏州天马用的蚀刻液蚀刻液费用。图号说明:传统挡液板结构a挡液板结构b风刀c气体本实用新型1蚀刻设备10挡液板结构11***挡板12第二挡板121宣泄孔1211***壁面1212第二壁面122下表面123上表面13第三挡板20基板30输送装置31滚轮40风刀装置41***风刀42第二风刀43气体50喷洒装置51药液s1步骤一s2步骤二s3步骤三s4步骤四h长度θ夹角θ1***夹角θ2第二夹角θ3第三夹角θ4接触角a0孔径a1上孔径a2下孔径w,苏州天马用的蚀刻液蚀刻液费用、w1、w2距离。具体实施方式首先,苏州天马用的蚀刻液蚀刻液费用,请参阅图2与图3所示,为本实用新型挡液板结构其一较佳实施例的整体结构示意图,以及宣泄孔排列示意图,其中本实用新型的挡液板结构10适用于一湿式蚀刻机(图式未标示)。如何挑选一款适合自己公司的蚀刻液?苏州天马用的蚀刻液蚀刻液费用
制备装置主体1的内部中间部位活动连接有高效搅拌装置2,制备装置主体1的一侧中间部位嵌入连接有翻折观察板4,制备装置主体1的底端固定连接有装置底座5,装置底座5的内部底部固定连接有成品罐6,装置底座5的顶端一侧固定连接有盐酸装罐7,装置底座5的顶端另一侧固定连接有硝酸装罐8,高效搅拌装置2的内部顶部中间部位活动连接有旋转摇匀转盘12,高效搅拌装置2的内部顶部两侧活动连接有震荡弹簧件14,震荡弹簧件14的顶端固定连接有运转电机组13,运转电机组13的顶端电性连接有控制面板15,高效搅拌装置2的内部中间部位固定连接有致密防腐杆16,致密防腐杆16的内部内侧贯穿连接有搅动孔17,盐酸装罐7的内部一侧嵌入连接有嵌入引流口22,嵌入引流口22的一端固定连接有负压引流器21,负压引流器21的一端固定连接有注入量控制容器18,注入量控制容器18的内部内侧固定连接有注入量观察刻度线19,注入量控制容器18的一侧嵌入连接有限流销20。推荐的,翻折观察板4的内部顶部活动连接有观察窗翻折滚轮401,观察窗翻折滚轮401的底端活动连接有内嵌观察窗402,该装置在进行制备时,具有一定的危险性,工作人员无法直接对其内部的运行状况进行很好的实时查看,通过设置内嵌观察窗402。苏州银蚀刻液蚀刻液销售价格蚀刻液蚀刻后的样貌形态。
一种ito蚀刻液及其制备方法、应用方法技术领域1.本技术涉及化学蚀刻技术领域,具体涉及一种ito蚀刻液及其制备方法、应用方法。背景技术:2.目前,电子器件的基板表面(例如显示器件的阵列基板)通常带有一定图案的氧化铟锡(ito)膜,以便后续给电子器件可控通电。该ito膜通常通过化学蚀刻的方法蚀刻ito材料层形成。其中,对于多晶ito(p-ito)材料,所用蚀刻液主要包括硫酸系、王水系ito蚀刻液。王水系蚀刻液成本低,但其蚀刻速度快,蚀刻的角度难以控制,且容易对ito膜的下层金属造成二次腐蚀。技术实现要素:3.有鉴于此,为克服目前存在的技术难题,本技术提供了一种ito蚀刻液及其制备方法、应用方法。4.具体地,本技术首先方面提供了一种ito蚀刻液,所述ito蚀刻液包括以下重量份数的各组分:20-22份的盐酸,6-7份的硝酸,0.5-3份的酸抑制剂,0.5-3份的表面活性剂,以及水;其中,所述酸抑制剂包括n,n-二异丙基乙胺、n,n-二异丙基乙醇胺中的至少一种;所述表面活性剂包括聚氧乙烯脂肪胺、聚氧乙烯脂肪二胺中的至少一种。5.通过对蚀刻液中硝酸及盐酸的含量进行精确限定,以实现了对王水系蚀刻液蚀刻速度的初步调控,并在一定程度上实现了对蚀刻角度的控制(蚀刻角度小于35
如前文所述,必须避免由该喷洒装置50喷洒而出的药液51滴入该基板20上而造成蚀刻不均的问题,因此,该复数个宣泄孔121的孔径a0必须要足够小,例如:孔径a0小于3mm,即可因毛细现象的作用,亦即该水滴于该宣泄孔121孔洞内的夹角θ等于该水滴与该第二挡板12的该上表面123所夹的接触角θ4,而达到防止位于该第二挡板12的该上表面123的药液51水滴经由该复数个宣泄孔121滴下至该基板20上(如图9所示)。再者,请再参阅图10至图12所示,为本实用新型蚀刻设备其二较佳实施例的挡液板结构结合风刀装置示意图、其三较佳实施例的挡液板结构结合风刀装置示意图,以及宣泄孔的表面张力局部放大图,其中该宣泄孔121为直通孔与斜锥孔混合的态样(如图10所示),或是全部为斜锥孔的态样(如图11所示),其中该宣泄孔121具有一***壁面1211与一第二壁面1212,且该第二挡板12具有一下表面122,当该宣泄孔121为斜锥孔的态样时,该***壁面1211与该下表面122的***夹角θ1不同于该第二壁面1212与该下表面122的第二夹角θ2,亦即该***壁面1211与该第二壁面1212可不互相平行,但应避免该***夹角θ1与该第二夹角θ2差距过大而造成毛细现象破除;此外,当该宣泄孔121为斜锥孔态样时。质量好的做蚀刻液的公司。
本发明涉及铜蚀刻液技术领域,具体涉及一种酸性铜蚀刻液的生产工艺。背景技术:高精细芯片和显示集成电路主要采用铜制程,其光刻工艺中形成铜膜层结构所需用的铜刻蚀液中主要的为过氧化氢系铜刻蚀液。过氧化氢系铜蚀刻液较其他铜刻蚀液体系(如三氯化铁体系,过硫酸铵体系)具有不引人其他金属离子在铜层表面或线路体系中,产物亲和、友好、环境污染少,刻蚀效率高且使用寿命较长的特点。大部分过氧化氢系铜刻蚀液包括参与氧化的过氧化氢组分、参与溶解的无机酸/有机酸组分,以及部分铜缓蚀剂等各类添加三个部分。由于铜蚀刻液中各物质的反应为放热反应,体系中又含有过氧化氢在制备铜蚀刻液的生产过程中需要保证生产安全。技术实现要素:本发明的目的在于,克服现有技术中存在的缺陷,提供一种铜蚀刻液大规模量产的生产工艺,该生产工艺温控严格,生产过程中安全性高。为实现上述目的,本发明的技术方案是设计一种酸性铜蚀刻液的生产工艺,所述工艺包括以下步骤:第一步:将纯水进行低温处理,使纯水温度≤10℃在纯水罐中备用;第二步:配制和准备原料,将亚氨基二乙酸、氢氟酸和乙醇酸分别投入对应的原料罐中,经过过滤器循环过滤,备用。哪家的蚀刻液配方比较好?苏州银蚀刻液蚀刻液销售价格
哪家蚀刻液质量比较好一点?苏州天马用的蚀刻液蚀刻液费用
很好的对注入量进行精确控制,提高了该装置的制备纯度。附图说明图1为本实用新型的整体示意图;图2为本实用新型的a处放大示意图;图3为本实用新型的b处放大示意图;图4为本实用新型翻折观察板沿a-a方向的截面示意图。图中:1、制备装置主体,2、高效搅拌装置,3、过滤除杂装置,4、翻折观察板,401、观察窗翻折滚轮,402、内嵌观察窗,5、装置底座,6、成品罐,7、盐酸装罐,8、硝酸装罐,9、热水流入漏斗,10、加固支架,11、防烫隔膜,12、旋转摇匀转盘,13、运转电机组,14、震荡弹簧件,15、控制面板,16、致密防腐杆,17、搅动孔,18、注入量控制容器,19、注入量观察刻度线,20、限流销,21、负压引流器,22、嵌入引流口。具体实施方式下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例**是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例,基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。请参阅图1-4,本实用新型提供一种技术方案:一种ito蚀刻液制备装置,包括制备装置主体1、高效搅拌装置2和过滤除杂装置3。苏州天马用的蚀刻液蚀刻液费用
苏州博洋化学股份有限公司是以提供高纯双氧水,高纯异丙醇,蚀刻液,剥离液内的多项综合服务,为消费者多方位提供高纯双氧水,高纯异丙醇,蚀刻液,剥离液,公司成立于1999-10-25,旗下博洋化学,已经具有一定的业内水平。公司承担并建设完成精细化学品多项重点项目,取得了明显的社会和经济效益。多年来,已经为我国精细化学品行业生产、经济等的发展做出了重要贡献。